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當前位置:首頁產品中心物理特性分析儀器浸潤性測試儀SDC-100半導體晶圓行業-浸潤性測試儀

半導體晶圓行業-浸潤性測試儀
產品簡介:

半導體晶圓行業-浸潤性測試儀:晶圓等離子清洗效果驗證、PCB/FPC 表面油污檢測、手機蓋板防指紋涂層質檢、光刻膠涂布前表面處理

產品型號:SDC-100

更新時間:2026-08-20

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :129

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產品介紹

1、什么是接觸角 θ

      當一滴液體落在固體平整表面,形成固?液?氣三相交界點
      接觸角:在三相交點處,液體表面的切線和固體表面之間的夾角(液體內部測量)
  •      θ < 90°:親水,液體容易鋪展開

  •      θ > 90°:疏水,液滴收縮成水珠

  •      θ <10°:超親水;θ>150°:超疏水

    接觸角大小直接反映:固體表面潤濕性;進一步可以算出表面自由能(表面能)、粘附功

2、楊氏方程 Young’s Equation(理論基礎)

     \(\gamma_=\gamma_+\gamma_\cos\theta\)
  •      \(\gamma_\):固?氣界面張力(固體表面能)

  •      \(\gamma_\):固?液界面張力

  •      \(\gamma_\):液?氣界面張力(液體表面張力,如水 72.8?mN/m)

  •      \(\theta\):靜態接觸角

       前提條件:固體理想平整、化學均勻、無吸附、無滯后。現實樣品大多,所以實際會出現前進角、后退角、接觸角滯后

3、前進角 / 后退角 / 接觸角滯后

     現實表面有粗糙度、污染、化學不均,同一個液滴角度不是**值:

     前進角 θ?:不斷增加液滴體積,剛要向外擴張時的接觸角

     后退角 θ?:不斷抽走液體,液滴剛要收縮時的接觸角

     接觸角滯后 Δθ = θ? ? θ?

  •      Δθ 很小(<5°):表面均勻、干凈;

  •      Δθ 大(>10°?20°):有油污、粗糙度、化學不均勻。

     滾動角:樣品臺傾斜,液滴剛好滾落的傾斜角度,超疏水材料重點指標,和滯后直接相關。

4、儀器測量原理(座滴法,絕大多數接觸角儀)

     儀器側視拍攝液滴照片,軟件提取液滴輪廓,用數學模型擬合得到 θ。
       四種常用擬合算法:
  1.  圓擬合:假設液滴是圓形截面。適合小液滴;重力大液滴誤差大。

  2.  橢圓擬合:適合大液滴、疏水大角度。

  3. Young?Laplace(Y?L / ADSA)擬合

    考慮重力對液滴的形變,精度最高;超疏水、大液滴、科研 / 半導體優先用這個。克呂士、梭倫機型核心算法。

        d.切線法:手動拉切線,人為誤差大,僅教學。

      測試表面能:用兩種已知表面張力的測試液體(水 + ****)分別測接觸角,代入 OWRK、Fowkes、Van?Oss 酸堿模型,算出固體表面能的色散分量、極性分量。常用于等離子、電暈處理評估粘接附著力。

5、其他測量方法原理

      Wilhelmy 板 / 纖維法(力學法)
      把固體薄片 / 纖維浸入液體,高精度天平測潤濕拉力,計算動態接觸角。適合纖維、薄膜、壓片粉末,不靠拍照成像。
      懸滴法:測液體本身的表面張力、界面張力,很多一體機同時具備接觸角 + 懸滴表面張力。

6、影響接觸角結果的關鍵因素(實操原理)

     固體表面粗糙度:同樣化學材質,越粗糙,親水更親水、疏水更疏水(Wenzel 模型;Cassie?Baxter 模型解釋超疏水)

     表面污染:微量油污,角度大幅升高

     溫度、濕度、液體揮發:液滴體積隨時間變化,角度漂移

     液滴體積:體積太大重力形變,太小受粗糙度影響;常規 2?5?μL

     Wenzel 與 Cassie?Baxter(粗糙表面理論)

      Wenzel 狀態:液體填滿表面微凹坑,液滴緊貼表面。

      Cassie?Baxter 狀態:液滴懸浮在微結構頂端,底下截留空氣,這就是超疏水(荷葉效應)的原理。


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